תיאור מוצרים
סיליקון ניטרידלסרטים דקים יש מבנה צפוף, חוזק גבוה ועמידות בלאי טוב, ויכולים לשמש כמרכיבים מבניים במכשירי MEMS. המודולוס והקשיות של הצעיר של סרטי הסיליקון ניטריד נבדקו בשיטת PECVD, וההשפעות של טמפרטורת התצהיר ויחס זרימת הגז התגובה על המודולוס של הצעיר וקשיות הסרטים נותחו. סרט סיליקון ניטריד שימש כקרן מתלים לייצור מתגי RF MEMS.
פרמטרים של מוצרים
| צִיוּן | N | סִי | Ca min | O min | ג דקות | אל מין | Fe Min |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
תמונת שיתוף פעולה של מוצרים
1.סיליקון ניטרידקרמיקה היא קרמיקה מבנית גבוהה בטמפרטורה גבוהה ובחוזק גבוה עם סיכויי פיתוח רחבים. יש לו ביצועים גבוהים (כמו חוזק גבוה, יציבות זעזוע תרמי טוב, קשיחות עייפות גבוהה, חוזק כיפוף גבוה בטמפרטורת החדר, עמידות בלאי, עמידות בפני חמצון, עמידות בפני קורוזיה וכו '), והיא הייתה בשימוש נרחב בכל תחומי החיים. שיטות ההכנה של סיליקון ניטריד כוללות בעיקר סינון תגובה (RS), סינון לחץ חם (HPS), סינון לחץ אטמוספרי (PLS) וסינון לחץ פנאומטי (GPS). נכון לעכשיו, הבעיה העיקרית היא שלמוצרי קרמיקה של סיליקון ניטריד יש קשיחות נמוכה ועלות גבוהה. בעתיד יש צורך לשפר את תהליכי הטחינה, הדפוס והסינון ואת הרכבה של סיליקון ניטריד וסיליקון קרביד כדי לפתח קרמיקה טובה יותר של סיליקון ניטריד.
תגיות פופולריות: סיליקון ניטריד מתכת ברמה גבוהה, יצרני סיליקון ניטריד מתכת ברמה גבוהה בסין, ספקים, מפעל