חומר ברמה גבוהה מתכת סיליקון 2502

שיטת חומר והכנה עם סיליקיד מתכת, אסיליקון מתכת 2502ננו-מבנה, הכולל ננו-מבנה מתכת סיליקיד המיוצר על מצע SOI; עובי השכבה הדיאלקטרית המבודדת של מצע SOI זה הוא 100-1000 ננומטר, ועובי סרט הסיליקון הוא 50-500 ננומטר. שיטת ההכנה כוללת ניקוי, ייבוש, ספין ציפוי פוטו-רזיסט חיובי, חשיפה, פיתוח וקיבוע, ולאחר מכן ייצור מבנה תבנית המסכה של הננו-מבנה הנדרש על משטח הסרט הדק הסיליקון של מצע ה-SOI.

1.חומר ושיטת הכנה עם סיליקיד מתכת, אמתכת סיליקון 2502ננו -מבנה, הכולל ננו -ננו -סילוק מתכת המופקת על מצע SOI; עובי השכבה הדיאלקטרית המבודדת של מצע SOI זה הוא 100-1000 ננומטר, ועובי סרט הסיליקון הוא 50-500 nm. שיטת ההכנה כוללת כי מצע ה- SOI מנקה, מיובש, מצופה ספין עם פוטורסיסט חיובי, חשוף, מפותח ומתוקן, ומבנה דפוס המסכה של הננו-מבנה הנדרש מפוברק על פני הסרט הדק של סיליקון של מצע ה- SOI. תחריט יון תגובתי משמש לחריטת סרט הסיליקון על מצע ה- SOI למבנה הננו הנדרש, עומק התחריט הוא עובי סרט הסיליקון, ואז על שכבת הבידוד המכילה את ננו -הסיליקון, סרט המתכת הנדרש להיווצרות קוטלי מתכת מופקדים, ואז מגיבים המתכת והסיליקון בשלב מוצק על ידי חישול בטמפרטורה גבוהה ליצירת סילוק מתכת, והמתכת הבלתי מוגבלת מוסרת על ידי קורוזיה כימית, כלומר נוצרת ננו-סילוק מתכת. השיטה פשוטה ויכולה לשלוט על מיקום ובקנה המידה של הננו -מבנה.

תגיות פופולריות: חומר ברמה גבוהה סיליקון מתכת 2502, סין חומר גבוה סיליקון מתכת 2502 יצרנים, ספקים, מפעל